成都某半导体电子器件电子器件所产生厂,晶圆激光加工的时候中所产生含硅、氟的特色化工废水解决,设计的概念操作规模性1200吨/日。化工废水解决组成成分繁多,有效納米级硅小粒及氢佛酸,传统式操作方式方法无法未达标。
电镀废水因素及原因
最主要的影响物
:氢氧化铁硅(100-500nm粒度分布)、氟亚铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
源工艺技术
:晶圆刻蚀废气(45%)、CMP生物学机拋光废气(40%)、仪器冲刷水(15%)
操作加工制作工艺 工艺流程图
改革创新用到"电化学乳浊液+特种车膜分割"技术应用风格:
钙盐水解
:添加氯化钙删去氟铝离子(出现CaF2沉淀物)
斜管沉淀池反馈
:复合型斜管沉淀池剂进行氢氧化铁硅脱稳
管式微滤
:0.1μm粒径膜挤占微细小粒
反构建设计
:脱盐率>98%,收售率75%
蒸发掉结晶体
:浓水段完成氟化物达标排放口
之后成果
氟化物氧浓度:<8mg/L(不超过发展中国家考试内容一级标淮10mg/L)
硅含锌量:<5mg/L
水环境量中水回用率:70%代替冷确塔补水保湿
垃圾减轻药量:汽化杂质量较传统艺术的工艺降低60%