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电子级磷酸废水处理案例|电子级磷酸废水处理方法

西北某8.5代液晶板显示屏产出线,在产出时中施用电子技术级磷酸对其进行波璃基材蚀刻,每日一造成约200m³高浓硫酸浓度含磷废污水。楼盘规范建立90%回收率,且回收污水水质需符合超注射用水要求(功率电阻率≥18MΩ·cm)。 生产废水成份及源 废渣首要包括两大类:首先是高溶液含量废酸液(磷酸量约10-15%),发源蚀刻机要定期更新的废气;二低溶液含量擦拭废渣(磷酸0.5-1.5%)。废渣基本特征:温湿度较高(40-45℃),包含少量锡、钼等彩石沉淀物,TDS约5000-8000mg/L。 治疗工艺技术方案 改革创新进行"分为回报+资源的回报+膜结合"工艺流程途径: 废酸回笼系统化 : 释放压力分馏装备收购85%往上磷酸 蒸汽加热水渗入后继加工 低渗透压焦化废水加工处理线 : 与响应池(NaOH调节器pH至6.5-7.5) 管式微滤膜(祛除浮悬物) 反覆盖整体(6级RO再利用率75%) 电去正离子安全装置(EDI精治疗) 浓水外理单元式 : 电化学凝结除磷(建成鸟粪石沉淀出的) 化掉器终究减少化 然后治疗效果 内容构建磷酸再利用率85%,一天重复电子器材级磷酸约3.5吨;水回收率实际的达标92%,回收水功率电阻率安全在18.2MΩ·cm以上的。与普通外理形式想必,年开源节流药物制剂投资成本280多万元,变少危废处理带来量6000吨/年。设备自功化程度较高,仅需三人轮班值班。

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