某半导厂在生产销售的过程 中在使用氯化铵系定影液,生产高生物碳废气浓度含NOx污废水 ,日整理量50吨。污废水 中含NO2-可以达到2000mg/L,且具有刺激性少量生物碳光刻胶化学物质,整理强度太大。
2. 废液组分及原因
定影制作工艺废渣(大部分生态破坏源)
晶圆除垢生产废水
气体洗衣机清洗塔排水系统
3. 治理工艺设备程序流程
使用"高层阳极氧化+多级生物学补救"创新发展技术:
臭氧老化脱色
:按照活性氧时有检测器出现O3,将难生物降解巧妙物拆分为小碳原子物质,也将NO2-脱色为NO3-。
生物技术膜想法器(MBR)
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首个级:缺氧的症状室内环境下污泥脱水甲醇当做碳源,驱动反反硝化细菌想法
第十二级:好氧动物膜进一次吸附有机质物
电无机化学的深度除理
:用钛基耐磨涂层电极材料,顺利通过电解抛光用处彻底消除化解残留物水排放物。
4. 终于视觉效果
NOx总氮调至8mg/L这
COD动态平衡在30mg/L三岁
废气中水回用率达60%
系统启动耗电率操控在3.5kWh/吨水,较传统的工艺设备绿色建筑20%。