半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
业务游戏背景
该单位公司为世界十大当先的半导体设备公测单位公司,处在珠四角各地,重要通过高端大气集成ic的划区和封装类型测试软件。根据本市环保健康耍求严格要求,单位公司考虑推进生产废水零尾气排放标准水利工程。建设项目于22年启动时,202五年6月成立投运,办理规模性为200吨/日,总成本约2000亿元。
生活污水组成及来源于
本项效果划区废气包括以上特别:
高有机废气渗透压氟化物,首要来于晶圆切除后的洗环节,氟正离子有机废气渗透压高达mg150-200mg/L
具有nm级硅粉顆粒,颗粒直径多在100-500nm两者
有机酸容载较高,COD在500-800mg/L
包含的进样器高价属如铅、镉等
导电率高,一般 在2000-3000μS/cm
工作步骤步骤
为建立零尾气排放标准学习目标,方法设计构思侧重点充分考虑废污水各类处理和资源量收回:
废水处理工艺分级回收利用平台
:将含氟工业废液与各种工业废液分手搜集
耐腐蚀析出除氟
:采用了两极钙盐放置法,协调高效率的放置池
高层氧化物治理
:活性氧催化剂的作用氧化反应吸附难进行处理设计物
膜原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 操作系统
:运用DTRO碟管式反参透,萃取7的倍数为10倍
蒸馏成果
:MVR机制蒸汽加热再压缩的蒸发掉器补救浓水
常温、干燥模式
:将沉淀盐晾干后最为工业品副软件外售
进行处理功能
系统软件运营数据统计提示:
氟化物快速清理率>99.9%,水流氟铁离子<1mg/L
COD总彻底清除率>98%,溢水COD<20mg/L
水資源收集率>95%,仅导致几瓶结晶体盐
第二年可的回收利用高品控使用水约七万之吨
心得盐含量高于工业化的级规格,实现了资源共享化利用
工作不只进行了废污水零废气排放,还能够资源量回收并建立了约80千元/年的额外的价值。