半导体封装废水怎么处理方法|半导体封装废水处理案例
顶目蓝本
该制造业公司应用于宁波省天津市,通常专业从事中档半导体技术集成ic的封裝测试测试,日的相关排放标准化废用水量约200吨。伴随工作阶段中运行很多化学物质药物制剂,电镀废水材料繁杂,内含高无机废气浓度铜、镍等巨资属各种环氧漆树脂胶、光刻胶等无机生态破坏物。制造业公司原先的进行处理油烟净化器是没办法考虑新出的相关排放标准化标准化,肯定需要持续改建。
废渣物质及特征
化学镀生活污水
:由来于电源芯片引脚电镀层流程,含有铜、镍、锡等血本属正离子,pH值波动性大。
生产废渣
:首要存在封裝胶凝固后、光刻方法,有光敏树脂光敏树脂、异丙醇、甲苯等有机的高沸点溶剂。
酸碱平衡污水
:导致于晶圆冲洗和蚀刻制作工序,内含氢钝化钠、氢钝化钾、氢钝化钠等。
加工处理制作工艺具体步骤
预办理的阶段
强酸强碱采和
:顺利通过投加模式调准pH至6-9,以防售后补救主设备腐化。
水泥混凝土沉垫
:污泥脱水PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),彻底清除透明桌面物和的部分血本属。
主要解决阶段中,
高级工程师脱色
:使用Fenton免疫试剂(H₂O₂+Fe²⁺)分解的难化学降解有机化学物,COD删去率达70%以下。
膜油烟净化器
:反渗透设备工作会更膜(UF)+反渗透设备工作会更(RO)结合加工过程,进每一步虚报冒领高价属和降解性有机化学物。
深入整理的阶段
化合物调换
:有能涉及铜、镍铁离子,确保出水量天价属分子量降到0.5mg/L。
催化活性碳气体吸附
:作为一个决定性有效保障了,出掉残渣微量分析巧妙物。
终于感觉
经除理后,冒水水质规范起到《智能电子重工业水生态破坏物减排规范》(GB 39731-2020):COD<50mg/L、铜<0.3mg/L、镍<0.1mg/L,回收率大幅提升至60%,常年开源节流使用水进行制造费约80万多。